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对微电子产品生产用洁净车间而言,其洁净车间装修(不包含厂房主体结构施工,下同)主要有:洁净车间建造装潢(含回风地板等)施工、洁净空调体系及其风管、过滤器的施工装置、高纯水体系及其管线的安装、高纯气体系统(含特种气体供给等)及其管线安装;
阅读量:909 标签: 洁净车间装修 洁净车间施工建设 无尘洁净车间施工
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