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洁净厂房一些能量消耗特征

发布来源:原创 发布时间:2023-02-07 阅读量 :326次

①洁净厂房是能量消耗大户,它的能量消耗包括洁净室中的生产设备用电、用热、用冷,净化空调系统的耗电、耗热和冷负荷,冷冻机组的耗电,排气处理装置的耗电、耗热,各种高纯物质的制取、输送耗电、耗热和冷负荷,各种动力公用设施的用电、耗热、用冷以区照明用电等。同样面积下洁净室的能量消耗是一股写字楼的 10倍,甚至更大。电子工业洁净厂房有的需要大空问、大面积、大体量。随着科学技术的发展,为达到电子产品生产的规模化、高可靠性能要求,常常采用连续生产的多工序集成的大型精密生产设备,为此需布置在建筑面积大、洁净生产区与上下技术夹层“贯通,的大空间和组合式的大体量的洁净厂房。

②常常在电子工业洁净厂房内设置相应的输送管道及其必需的排气处理设施,这些排气处理设施既消耗能量,又会增大洁净室的送风量。电子产品洁净厂房能量消耗大,为满足洁净生产环境所必需的空气净化设施包括净化空调系统、供冷供热系统均大量耗能,若空气洁净度等级要求严格时,由于洁净送风量和新风量都较大,所以能量消耗较大,且全年几乎每天昼夜连续运行

③各种耗能设施使用的连续性。为确保各类洁净室的空气洁海度等级一致、室内各种功能参数的稳定以及产品生产工艺的需要,许多洁净室都采用连线运转的方式,通常是昼夜 24h连续运行。由于洁净室连续运行,要求供电、供冷、供热等均需按洁净室内的产品生产工艺要求或生产计划的安排进行调度,及时供应各种能源。在各类洁净室的能量消耗中,除产品生产设备及与产品品种关系密切的冷却水、高纯物质、化学品和特种气体等的能量供应随产品品种、生产工艺变化外,在洁净室的能量消耗总量中占有较大比例的是制冷机、净化空调系统的电能、冷(热)能消耗。

④ 依据洁净厂房的产品生产工艺要求和环境控制要求特点,无论是在冬季、过渡季还是在夏季,对温度低于 60°的所谓 “低位热能”都有需求。例如净化空调系统在冬季、过渡季要求供应不同温度的热水对室外新风加热,只是不同季节的供热量是不同的。在电子产品生产用洁净厂房中大多使用大量的纯水,集成电路芯片制造、TFT-LCD 面板制造过程的纯水小时用量达数百吨,为获得所需品质的纯水,通常都采用反渗透(RO)技术;RO装置要求水温保持在25°C左右,常常需要供应一定温度的热水。对一些企业的调研表明,近年来正逐渐利用洁净厂房的低位热能如制冷用冷水机组的冷凝热提供 40°C左右的低温热水,替代原来的采用低压蒸汽或高温热水进行加热/预热,取得了明显的节能效益、经济效益。因此,洁净厂房既有低位热源的 “资源”,又有低位热能的需求,这是洁净厂房融合利用低位热能降低能耗的重要特征之一。

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